声表面波压电材料

压电效应：

1880年，法国物理学家居里兄弟(PCunie 和J.Curie)发现将重物置于α石英晶体上,品体部分表面会产生电荷，电荷量与所受压力成正比
正压电效应：外加压力作应下在表面间产生电位差。

和逆压电效：压电材料在外加电场作用下产生机械形变

压电材料重要参数

压电材料选择考虑参数：传播速度、机电耦合系数、传播损耗、温度系数、衍射效应、与无用体波的耦合、是否适合采用光刻工艺以及可利用度。

传播速度：其大小决定了声表面波器件的频率。

机电耦合系数：机械能和电能转化效率，决定了滤波器带宽。

传播损耗（insertion loss)：包括声表面波在叉指换能器上的散射损耗和在压电基片表面传播的损耗。

温度系数：反映了SAW 器件的中心频率随外界温度变化的稳定性。SAW filter选取温度系数小的压电材料;

压电材料选择

声表器件应用要求	要求材料具有的特性
能制作出良好的叉指换能器	材料表面良好，粗造度应尽可能小
提高能量转换效率	材料具有尽可能高的的机电耦合系数
降低插入损耗	材料具有较小的传播损耗
性能稳定	材料具有较小的温度系数
易于量产	材料重复性好，一致性高，具有成本优势

压电单晶:石英、铌酸锂、钽酸锂等，重复性好，可靠性高，传播损耗低，通常是各向异性材料，大机电耦合系数和小温度系数的要求难以同时满足;
压电陶瓷:钛酸钡陶瓷、锆钛酸铅陶瓷等具有很大的机电耦合系数，但一致性较差，工作频率受到多晶晶粒尺寸，晶粒问界状态、内部气孔大小的限制，一般只适宜作低频器件;
压电薄膜:氧化锌薄膜、氮化铝、氮化镓薄膜等，其声波传播特性由薄膜和衬底的特性共同确定，能够很方便地与外围电子器件或电路集成为单片器件。