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半导体制造技术中的沉积和驱入(Deposition and drive-in)过程
ops
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2024/9/23 11:20:28
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来源:
半导体制造技术
导论——萧宏
沉积和驱入过程
图5.34 硼掺杂工艺高温扩散炉系统示意图
图5.35 扩散掺杂工艺流程
图5.36 扩散工艺在超浅结深(USJ)上的应用
http://www.ppmy.cn/ops/111632.html
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