半导体设备:碳化硅气浮导轨

news/2024/12/29 1:29:30/

碳化硅陶瓷气浮导轨

碳化硅陶瓷的特点:

1、硬度仅次于金刚石;耐久性更好;

2、膨胀系数小;精度更可靠;

3、强度高;

1、非接触式气浮导轨结构

2、高直线度平面度指标

3、行程可达 1m,可定制

4、微动步距 10nm

5、精密光栅尺闭环反馈

6、优化线缆管理系统


http://www.ppmy.cn/news/1185740.html

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