碳化硅陶瓷气浮导轨
碳化硅陶瓷的特点:
1、硬度仅次于金刚石;耐久性更好;
2、膨胀系数小;精度更可靠;
3、强度高;
1、非接触式气浮导轨结构
2、高直线度平面度指标
3、行程可达 1m,可定制
4、微动步距 10nm
5、精密光栅尺闭环反馈
6、优化线缆管理系统
碳化硅陶瓷气浮导轨
碳化硅陶瓷的特点:
1、硬度仅次于金刚石;耐久性更好;
2、膨胀系数小;精度更可靠;
3、强度高;
1、非接触式气浮导轨结构
2、高直线度平面度指标
3、行程可达 1m,可定制
4、微动步距 10nm
5、精密光栅尺闭环反馈
6、优化线缆管理系统