北方微电子培训教材(高级)

等离子体基础

1

Outlines

• 等离子体概况

• 等离子体源介绍

• 等离子体诊断

• 刻蚀工艺相关参数

NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 2

Outlines

• 等离子体概况

• 等离子体源介绍

• 等离子体诊断

• 刻蚀工艺相关参数

NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 3

等离子体概况 等离子体基本概念 1

等离子体是一种具有足够电离度的放电气体

NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 4

等离子体概况 等离子体基本概念 2

等离子体基本组成：

电子、离子、中性粒子

等离子体基本特征：

- 准电中性：等离子体宏观上表现为中性

- 集体行为：大量粒子综合的行为

N+ A

e-

气体状物质

Plasma

NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 5

等离子体概况 等离子体产生原理1

Energy

• 能量的供应

Orbital electron Free electron Excited electron • 发生如下过程：

nucleus nucleus - 电离过程

- 激发过程

- 离解过程

nucleus

Free electron

A + B

A B

Gas

NMC Confidential – Do Not Copy – NMC Training 6

等离子体概况 等离子体产生原理2

• 一般的方法就是通过电能，或者动能来提供能量，使原子

核外电子脱离原子核的束缚。

•

• 电能：强电场、微波、激光、宇宙射线等；

•