品牌：日立

型号：S-4800扫描电子显微镜

产品简介:

日立S-4800扫描电子显微镜采用大样品室的半内透镜设计，却能达到超高分辨率，可以与内透镜UHR扫描电镜相媲美。

产品概述&参数:

扫描电子显微镜仪器特点：

1.新型物镜采用的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。

2. 1KV低加速电压,不使用减速功能,可保证有2.0nm的分辨率。

3. 两种样品台可选：I型50mm x 50mm标准样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。

4. 包括磁悬浮涡轮分子泵在内的先进的真空系统。

5. 光阑自清洁技术,避免了光阑的污染。

仪器参数:

二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV，减速模式)

1.0nm (15kV)

电子光学：

电子枪: 冷场发射电子源

加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步，可变)

放大倍率: x 20~ x 800,000

物镜光阑: 4孔，真空外选择和调校(内置加热器)

检测器: 二次电子检测器 (高位/低位)

背散射电子检测器(可选)

EDX(可选)

透射电子检测器(可选)

法拉第杯(可选)

阴极荧光检测器(可选)

样品台: l型:

X: 0~50mm Y: 0~50mm

Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°

驱动:手动(可选3轴驱动)

ll型:

X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm

Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°

R: 360°驱动:PC机控制5轴驱动

图像显示:

操作/显示: PC/AT 兼容,

操作系统： WindowsTM 2000

18.1" 平面显示器

扫描模式: 标准，Split/dual mag./linescan, position

set, spot, AAF, SAA, oblique

画面储存: 640 x 480, 1,280 x 960,

2,560 x 1,920,5,120 x 3,840

图像编辑: 内置图像处理软件和图像编辑软件

图像文件格式: BMP, TIFF, JPEG

扫描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察

慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录

成像过程: 自动调节亮度和对比度

光栅旋转，自动聚焦，自动像散校正，

平均，帧积分，伪彩色显示

自动数据记录: 胶卷号，加速电压，微米标尺，放大

倍率，日期，时间，工作距离

电子图像移动: ±12u( W.D. = 8 mm)

真空系统: 完全气阀自动调节

离子泵 3 台

涡轮分子泵(磁浮型) 1 台

机械泵 1 台