1. Interconnect Technology Format
itf（S家工具用到的互联工艺格式文件）和ict文件（C家工具用到的互连工艺格式文件）是工艺参数文件，记录了每层材料的电阻率、介电常数、温度系数、最小宽度等详细信息。EDA工具没有直接使用这类文件进行RC的抽取，因为计算量是巨大的，将严重影响EDA工具的速度。
2. tluplus&capTable
为了减少RC抽取过程中的计算量，节省RC抽取的时间，我们一般不直接使用这种文件而是先将其转换成查找表文件（TLU+以及capTable）。PR工具根据导线的长度和宽度查表即可得到电阻电容值，虽然过程中也要计算一些系数的影响(比如温度系数)，但计算量已经大幅降低了。
2.1tluplus
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S家PR工具（ICC2）用的net电阻电容查找表，tlu升级版格式
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itf文件可以转换为tluplus
- 通过grdgenxo命令，
2.2capTable
- C家PR工具（Innovous）用的net电阻电容查找表
- ict文件可以转换为captable文件
- 通过generateCapTbl命令，generateCapTbl是Innovus安装包里面的一个程序
3.nxtgrd&qrcTechfile
为了提高RC提取的精度，我们会使用更加精确的RC提取引擎或者RC提取工具（如StarRC），它们的输入是nxtgrd/qrcTechfile文件。同样，它们也可以由itf和ict文件转换而成，用的命令分别是Techgen和grdgenxo。
3.1nxtgrd
- nxtgrd是StarRC（Synopsys）提取寄生参数用的输入文件
3.2qrcTechfile
- qrcTechfile是QRC（Cadence）引擎提取寄生参数用的输入文件
- Techgen是EXT（QRC）的命令
ICT和ITF文件可以相互转换
